انواع و ویژگی های اصلی پمپ های سرمایشی

کرایوپمپ ها بر اساس اصل تراکم گاز، جذب کرایوژنیک، به دام انداختن برودتی یا مکش برای به دست آوردن خلاء ساخته می شوند.

1. با توجه به فشار کاری پمپ، می توان آن را به Cryopump برای محدوده جریان پیوسته، Cryopump برای محدوده جریان مولکولی، معمولا پمپ میعانات به همراه مرحله جذب یا مرحله جذب برودتی تقسیم کرد.

2. با توجه به روش خنک کننده، می توان آن را به Cryopump مخزن ذخیره، Cryopump تبخیری و Cryopump تبرید تقسیم کرد. در میان آنها، انجماد مخزن ذخیره سازی و انجماد تبخیری هر دو از مبرد مایع برای تبرید استفاده می کنند، سطح محافظ خنک کننده معمولاً از نیتروژن مایع استفاده می شود و سطح برودتی معمولاً از هلیوم مایع یا گاز هلیوم برای تبرید استفاده می شود. به دلیل اشتعال پذیری، قابلیت انفجار و قیمت بالای هیدروژن مایع، با وجود آنتالپی تبخیر بالاتر از هلیوم مایع، هنوز به ندرت استفاده می شود.

یخچال های انجمادی سردخانه معمولا توسط گیفورد استفاده می شود. نوع مک ماهون (به عنوان یخچال GM نامیده می شود) و نوع استرلینگ (به عنوان یخچال St). برای انجمادهای تبرید با سرعت پمپاژ بالا، می توان از یک یخچال با درجه حرارت هلیوم مایع استفاده کرد و یک شیر JT را می توان تنظیم کرد تا یک دستگاه تبرید گردش مایع را تشکیل دهد، و گاهی اوقات از نیتروژن مایع در مخزن ذخیره مایع یا دستگاه مایع سازی نیتروژن استفاده می شود. سطح بافل و سپر را خنک کنید.

عملکرد اصلی Cryopump

① بالاتر از سرعت پمپاژ، بهتر از سایر انواع پمپ ها.

②هیچ محدودیتی در شکل وجود ندارد، می توان آن را در محفظه خلاء غوطه ور کرد یا با فلنج روی دیوار محفظه خلاء ثابت کرد.

③ می تواند یک خلاء کاملاً تمیز و بدون آلودگی به سیستم خلاء ارائه دهد.

④درجه خلاء فشار بسیار کم را می توان به دست آورد، مانند زیر 10-12Pa. علاوه بر این، عملکرد انجماد قابل اعتماد است و زمانی که سرعت پمپاژ نسبتاً زیاد باشد، هزینه عملیاتی سرمایه گذاری آن کمتر از پمپ خلاء سنتی است و به راحتی می توان اتوماسیون را تحقق بخشید.