کرایوپمپ ها نیز در زندگی امروزی بسیار مورد استفاده قرار می گیرند. شاید بسیاری از مردم در مورد کرایوپمپ ها نشنیده باشند. کرایوپمپ ها نوعی پمپ خلاء هستند که از گاز تراکم سطحی با دمای پایین استفاده می کنند. مزیت این است که قدرت پمپاژ بزرگترین است. امروز بیایید نگاهی به پمپ های برودتی بیاندازیم که پمپ چگونه کار می کند.
اصل کار کرایوپمپ استفاده از گاز برای جذب فیزیکی روی سطح با دمای بسیار پایین برای رسیدن به اثر تخلیه است. این یک روش موثر و سریع برای به دست آوردن یک جاروبرقی تمیز است.
Cryopump می تواند به خلاء بسیار بالا (10-11 Pa) برسد و از مزایای سرعت اگزوز سریع، بدون روغن و جهت نصب نامحدود برخوردار است.
در مرحله سرد مرحله اول کرایوپمپ، یک پوشش محافظ و بافل تنظیم می شود و دما در 80K حفظ می شود. مرحله خنک کننده ثانویه در 15K حفظ شد و یک پوشش برودتی و جاذب کربن فعال روی آن تنظیم شد.
بخار آب روی سپر 80K و بافل 80K جامد می شود. نیتروژن، اکسیژن و آرگون روی پوشش برودتی 15K جامد می شوند. هیدروژن، هلیوم و نئون روی جاذب داخل پوشش برودتی 15K جذب می شوند. Cryopump می تواند تمام گازها را تخلیه کند، اما اگر مقدار گاز جذب شده بیش از حد زیاد باشد، سرعت اگزوز کاهش می یابد. در این صورت باید کرایوپمپ را گرم کرد و گاز جذب شده را آزاد کرد و دوباره از آن استفاده کرد.
ویژگی های Cryopump
Cryopump یک پمپ خلاء است که از یک سطح با دمای پایین برای متراکم کردن گاز استفاده می کند که به عنوان پمپ میعانات نیز شناخته می شود. Cryopump می تواند خلاء تمیزی را با بالاترین سرعت پمپاژ و کمترین فشار نهایی به دست آورد و به طور گسترده در تحقیق و تولید نیمه هادی ها و مدارهای مجتمع و همچنین تحقیقات پرتوهای مولکولی، تجهیزات پوشش خلاء، ابزارهای تجزیه و تحلیل سطح خلاء، یون استفاده می شود. ایمپلنت کننده ها و دستگاه های شبیه سازی فضا و غیره جنبه.
Cryopump یک پمپ خلاء است که از اثر تراکم یک سطح خنک کننده با دمای بسیار پایین (کمتر یا مساوی 77K) برای حذف گاز از سیستم استفاده می کند. از دهه 1960، پمپاژ برودتی به طور گستردهتری در اکتساب و کاربرد خلاء مورد استفاده قرار گرفته است.
Cryopump یک پمپ خلاء تمیز است. از آنجایی که محیط برودتی تنها مبردی است که سطح مکش پمپ را خنک می کند و در یک ظرف دربسته ذخیره یا گردش می کند، هیچ تماسی با فضای خلاء ندارد. این ویژگی برای سیستمهای خلاء خاصی که به سیستمهای خلاء تمیز و بدون روغن نیاز دارند، حیاتی است.
کرایوپمپ ها می توانند فشار جزئی بسیار کم و سرعت پمپاژ بسیار بالا را برای اکثر گازها بدست آورند. هنگامی که کرایوپمپ در محیط هلیوم مایع کار می کند، از مزایای ظرفیت پمپاژ واقعی و پمپاژ غیرانتخابی (به جز هلیوم) نیز برخوردار است.
کرایوپمپ ها نقش حیاتی در تحقیق و تولید نیمه هادی ها و مدارهای مجتمع، تحقیقات پرتوهای مولکولی و سایر زمینه ها دارند. این یک پمپ خلاء تمیز است. موارد فوق همه چیز در مورد اصل کار پمپ های سرمایی است.