با توجه به روش عرضه محیط، کرایوپومپس به انواع زیر تقسیم می شود:
پمپ کریوژنیک مخزن ذخیره سازی: محیط دمای پایین (هلیوم مایع) به طور مستقیم به مخزن ذخیره سازی در پمپ تزریق می شود تا گاز متراکم شود تا به هدف پمپاژ دست یابد.
مزایای استفاده از cryopump مخزن ذخیره سازی این است که پمپ کوچک در اندازه, بدون لرزش, بدون سر و صدا, و آسان به کار.
نقطه ضعف پمپ کریوژنیک مخزن ذخیره سازی این است که هزینه عملیاتی بالا است، زمان استفاده از هر پر کردن محیط کم دما کوتاه است، و سیستم خلاء که نیاز به فعالیت مداوم برای مدت طولانی دارد نیاز به پر کردن دوره ای محیط کار دارد، و با شرایط عرضه محیط کم دما محدود می شود.
کریوپومپ فرایند: لوله خنک کننده کریوکانل در پمپ به گسترشدهنده تبرید متصل می شود، و محیط کریوژنیک (هلیوم گاز) از طریق خط لوله بیرون به کریوپومپ عرضه می شود، گرمای کریوبانل را جذب می کند، و سپس به کمپرسور یخچال با برمی گردد تا چرخه بسته ای را تشکیل دهد. حجم پمپ بسیار زیاد است، خط لوله پیچیده است، و از دست دادن خنک کننده خط لوله بزرگ است.
مزیت فرایند cryopump این است که قدرت خنک کننده بزرگی دارد و بیشتر برای از بین بردن حجم جوی یا یک محفظه خلاء بزرگ مناسب است.
کریوکومپ یخچال کوچک: کریوکومپ یخچال کوچک چرخه بسته از یک بدنه پمپ دمای پایین، کریوبانل استخراج هوا، یک صفحه محافظ تابش، یخچال و یک کمپرسور تشکیل شده است.
بزرگترین تفاوت پمپ کریوژنیک یخچال کوچک و پمپ کریوژنیک فرایند این است که سرهای سرد اول و دوم یخچال مستقیماً به صفحه تابش و صفحه سرد متصل هستند و جریان در خط لوله اتصال بین یخچال و کمپرسور دمای طبیعی است، درجه حرارت بالا (یا پایین) است. ) محیط گاز تحت فشار، هیچ مشکل حمل و نقل از محیط دمای پایین وجود دارد، و آن را تا به مزایای کریوکومپ فرایند و ذخیره سازی cryopump مخزن. این ایده آل تمیز فوق العاده بالا پمپ خلاء در حال حاضر است.
کریوکومپ های یخچال کوچک به طور گسترده ای در آماده سازی فیلم نازک، فناوری میکروالکترونیک، فیزیک انرژی بالا، تجهیزات مرگ حلقه کوچک و دیگر زمینه های صنعتی مورد استفاده قرار می گیرند.